臭氧消毒和高温消毒都各有优势，主要是要杀毒的餐具来定，如果是塑料餐具，提议应用臭氧杀毒，如果是陶瓷不锈钢餐具，提议应用高温杀毒。

高温蒸汽不仅可杀死一般的细菌、真菌等微生物，对芽胞、孢子也有杀灭效果，是可靠、应用普遍的物理灭菌法。由于蒸汽的穿透性强，蛋白质、原生质胶体在湿热条件下用以变性凝固，酶系统容易破坏，蒸汽进入细胞内凝结成水，能够放出潜在热量提高温度，更增强了杀菌力。在影响微生物生命活动的各种物理因素中，利用水的沸点随水蒸汽压力的增加而上升，从而达到高温灭菌的目的。

臭氧是一种强氧化剂，灭菌过程属生物化学氧化反应，O3灭菌有3种形式：臭氧能氧化分解细菌内部葡萄糖所需的酶，使细菌灭活死亡；直接与细菌、病毒作用，破坏它们的细胞器和DNA、RNA,使细菌的新陈代谢受到破坏，导致细菌死亡；透过细胞膜组织，侵入细胞内，作用于外膜的脂蛋白和内部的脂多糖，使细菌发生通透性畸变而溶解死亡。